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清洗机
  • 适用于晶圆、QFN、玻璃和陶瓷切割后的清洗工作。通过喷洒出微流高压水或二流体将切割后的晶片清洗干净。

  • 高压水和二流体两种清洗方案,两种清洗方案可分开或组合选择。

  • 人性化彩色触摸屏的操作界面。

  • 适用于蓝膜、UV膜、PRT衬底膜和双层膜

  • 可以根据客户工艺不同,来编制不同程序控制。


型号

JQX800

适用晶圆尺寸

3英寸

高压泵清洗压力 

2.08.5 Mpa

纯水压力

0.20.35 Mpa

氮气压力

0.30.5 Mpa

压缩空气

0.50.8 Mpa

主轴转速范围 

4003000 rpm

清洗和甩干时间范围 

33000 秒可分别设置

显示屏

7寸彩色触摸屏

机器尺寸 

530(W) x900(D) x 1250(H) mm(不含信号塔高度)

电源

 AC 220   5060Hz



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